1.什么是真空光纤馈通？

在真空环境下进行光学实验或工业生产时，一个核心难题摆在工程师面前：如何在维持真空密封的同时，让光信号自由进出腔体？

真空光纤馈通（Vacuum Fiber Feedthrough）正是为此而生的专业解决方案。它采用焊接型或一体化构造，在真空腔体壁上建立一道"光的桥梁"——既能确保腔体的超高真空密封性，又能实现光信号的高效传输。

图1.尾纤式真空光纤馈通

2.工作原理

真空光纤馈通的核心技术在于真空密封与光学传输的完美结合：

密封结构：采用精密焊接或一体化成型工艺，将光纤固定于金属法兰盘中心，形成气密性连接

光路设计：光纤贯穿真空腔壁，一端连接外部光源/探测器，另一端深入真空环境

压力隔离：法兰盘与真空腔体标准接口（如CF、KF法兰）配合，实现从大气压到超高真空（UHV）的可靠隔离

3.核心参数与性能

四大核心优势

超高真空密封 — 确保真空度不受光路引入影响

宽光谱传输 — 支持从紫外到红外的宽波段光信号

全规格定制 — 芯径、光纤类型、法兰尺寸均可定制

多接口兼容 — 适配CF、KF等标准真空法兰接口

图2.真空光纤馈通2

4.典型应用场景

（1）半导体工艺设备

刻蚀、沉积、离子注入等工艺腔体的光学监测

终点检测（Endpoint Detection）系统

晶圆温度/应力光学测量

（2）真空腔体光谱分析

等离子体发射光谱诊断（OES）

真空环境下材料光谱特性研究

反应过程实时监测

图3.真空光纤馈通在真空腔的应用

https://ts1.tc.mm.bing.net/th/id/RC.348471d9de7b53bfea47e9e5638e236frik=w%2bWjKtLRpEr3Aw&riu=http%3a%2f%2fwww.wyoptics.com%2fImages%2f20170710%2f5963429f0cf205bf2c51517c.png&ehk=3PXfq1cpuNlGkJGVbuW5p%2fItJn8GAZZT%2fwwZV%2bhQNtw%3d&risl=&pid=ImgRaw&r=0

（3）压力容器监测

高压/真空环境下的光纤传感

结构健康监测（SHM）

分布式温度/应变测量

（4）科研实验装置

超高真空物理实验（如表面科学、冷原子物理）

同步辐射光束线

空间环境模拟设备

5.选型指南

图4.真空光纤馈通图3

光品汇提供的真空光纤馈通采用焊接型或一体化构造，能够在维持真空密封的同时，实现光信号在真空腔室内外的高效传输。产品广泛应用于压力容器监测、真空腔体光谱分析、半导体工艺设备、科研实验装置等领域，并可提供全面的定制服务以满足特殊应用需求。

表1.光品汇真空光纤馈通定制信息搜集表